3D光學非接觸輪廓粗糙度儀基於白光幹涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表麵形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：
1.表麵形貌（粗糙度，平麵度，平行度，台階高度，錐角等等）
2.幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區域的麵積和體積，特征圖形的位置和數量等等）
3D光學非接觸輪廓粗糙度儀儀的光學係統基於無限遠顯微鏡係統。通過幹涉物鏡產生幹涉條紋，使基本的光學顯微鏡係統變為光學3D表麵輪廓儀。
3D光學非接觸輪廓粗糙度儀主要功能：
1、共聚焦
共聚焦技術可以用來測量各類樣品表麵的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um。利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表麵測量斜率達70°（粗糙表麵達86°）。共聚焦算法保證Z軸測量重複性在納米範疇。
2、幹涉
?相位差幹涉 (PSI)
相位差幹涉是一種亞納米級精度的用於測量光滑表麵高度形貌的技術。它的優勢在於任何放大倍數都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現超高縱向分辨率的大視場測量。
白光幹涉 (VSI)
白光幹涉是一種納米級測量精度的用於測量各種表麵高度形貌的技術。它的優勢在於任何放大倍數都可以保證納米級的縱向分辨率。
3、多焦麵疊加
多焦麵疊加技術是用來測量非常粗糙的表麵形貌。根據Sensofar在共聚焦和幹涉技術融合應用方麵的豐富經驗，特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的大亮點是快速(mm/s)、掃描範圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。
4、薄膜測量
用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。S neox 在增加了分光反射計後可以測量10nm的膜厚和多10層膜。由於是通過顯微鏡頭測量，小的測量點為5um。因為係統裏有組合的LED光源，所以實時觀察和膜厚測量能同時進行。
5、測量及分析軟件
SensoSCAN是一款簡潔友好的操作軟件。它將用戶進入3D的世界，提供*用戶體驗。在軟件界麵內，用戶可以直觀明確地了解所用的測量方式，同時還能顯示和分析數據。
6、強大的專業分析軟件
增配SensoPRO LT 或SensoMAP軟件就能輕易實現全自動測量和分析。