
3D光學非接觸輪廓粗糙度儀
簡要描述:
瑞士TRIMOS TR-scan3D光學非接觸輪廓粗糙度儀(yi) 具有完善的分析功能模塊,對其表麵形貌進行輪廓、麵積、體(ti) 積、粗糙度、截麵等測量。
產(chan) 品時間:2020-06-30
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀(yi) 產(chan) 品介紹:
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀(yi) ,全自動共焦三維測量。於(yu) 刀具製造工業(ye) ,根據多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表麵,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表麵三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳(chuan) 感器和圖像處理係統,可以對各種複雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表麵形貌進行輪廓、麵積、體(ti) 積、粗糙度、截麵等測量。
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀(yi) 特點:
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強大的多點共焦技術,zui準確的測量出表麵形貌數據(角度、半徑、輪廓、粗糙度)
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通過光學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數
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測量速度快,可整合成一個(ge) 高效的在線測量係統
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適用於(yu) 陡峭的斜麵,爬坡角度高達85度
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垂直分辨率高達30nm
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TRSCAN是*可同時獲得表麵形貌和真實顏色信息的3D測量設備,測量更加精確靈活
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通過腳本自動測量,更適用於(yu) 批量測量,並生成圖形或數字報告
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粗糙度和輪廓測量符合*EN/ISO4287標準
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可用於(yu) 選定區域的麵積及體(ti) 積計算
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可選配轉台,實現三維掃麵
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可用於(yu) 複雜幾何外形的形狀分析,可測量角度、半徑等表麵特征
技術參數:
工作台移動範圍X | 100mm | ||
工作台移動範圍Y | 固定式 | ||
工作台移動範圍Z | 240mm | ||
XYZ軸zui小位移量 | 0.1μm | ||
XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
XY軸導軌直線度 | 1.5μm | ||
工件zui大重量 | 20kg | ||
測量原理 | 非接觸式多點譜線共焦傳感器 | ||
光源 | 白色LED共軸光,高強光,數字可控 | ||
色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量範圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度zui小分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
測量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |
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